為迎接第16個“世界認可日”和提高上海市檢驗檢測認證行業的影響力，上海市市場監督管理局在6月8日舉辦了“檢驗檢測認證促進產業優化升級”主題宣傳活動。廣電計量的芯片檢測案例“開發基于電子顯微技術的先進制程芯片檢測分析方案，助力我國高端芯片研發制造”入選2023年上海市十大檢驗檢測創新案例，是入選機構中唯一一家市場化運營的第三方檢測機構，體現了主管部門對廣電計量助推上海高端集成電路產業發展的肯定。
發布會現場
廣電計量代表上臺領獎（左二）
聚焦半導體領域 用顯微分析助力產業發展
廣電計量集成電路測試與分析事業部組建了一支由博士帶頭的顯微分析技術團隊，擁有專業的芯片破壞性物理分析和芯片顯微結構分析能力，配備了TEM、DB FIB等先進的顯微分析設備，可以為客戶提供專業的半導體器件解剖、4nm及以上先進工藝制程晶圓級TEM分析服務。服務的客戶遍布國內一線晶圓廠、芯片設計公司、激光器芯片設計研發公司、封裝廠、半導體設備研發、先進半導體器件研發、高校科研院所等。服務的產品類型包括硅片晶圓、芯片、VCSEL激光器、光學器件、功率器件、存儲器芯片等。
廣電計量獲“2023年上海市檢驗檢測創新案例”
2023年檢驗檢測創新案例征集，共收到來自檢驗檢測機構、高校科研院所、企業內部實驗室、儀器設備研發制造企業等單位的近100個申報案例。“開發基于電子顯微技術的先進制程芯片檢測分析方案，助力我國高端芯片研發制造”案例由廣電計量集成電路測試與分析事業部陳振博士團隊主導，歷經“項目申報、專家初評審、公開投票、現場答辯、專家終評審”等眾多環節，在百余家參與企業中脫穎而出，最終得以成功入圍前10名，入選“2023年上海市檢驗檢測創新案例”。
4nm制程晶圓級TEM分析照片
廣電計量集成電路測試與分析上海實驗室基于電子顯微技術，開發了先進制程芯片工藝解剖方案，掌握了先進制程芯片晶圓級工藝分析的核心技術，實現了4nm先進制程芯片的晶圓級工藝分析，如FinFet結構分析，原子級分辨率的形貌表征和成分分析等，可以更好的服務我國芯片設計及制造企業，保障自主知識產權安全！